美國Logosol, LPA68EH-3 邊緣處理預對準儀,LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58
減少接觸邊緣處理的預對準器，適用于兩種晶圓尺寸，邊緣接觸區域小于 1mm
對準能力：標準 150 和 200 mm 晶圓透明和半透明基板
本體：LPA58
接口入口：側面（可選底部）
美國Logosol, LPA68EH-3 邊緣處理預對準儀,LPA68EH-3-REHV1-S38-S(B)-R900V-NE-LH58
減少接觸邊緣處理的預對準器，適用于兩種晶圓尺寸，邊緣接觸區域小于 1mm
對準能力：標準 150 和 200 mm 晶圓透明和半透明基板
本體：LPA58
接口入口：側面（可選底部）
