美國Logosol, LPA812EH-3 邊緣處理預對準儀,LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y)

邊緣處理預對準器，適用于兩種晶圓尺寸，減少的邊緣接觸區域小于 1 毫米，以及 3 種不同的引腳配置。

C（交叉）配置：為晶圓提供最均勻的支撐，并從三個側面平等訪問。

X 型配置：為超過 6 英寸寬的末端執行器提供空間，并從兩側平等進入

Y 型配置：提供與晶圓的最小物理接觸（卡盤和引腳上只有 3 個點）和兩側的平等訪問

接口入口：側面（可選底部）