美國Logosol, LPA8EH-3 邊緣處理預對準儀,用于 200mm 晶圓的預對準器

LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE

減少接觸邊緣處理 用于 200mm 晶圓的預對準器

對準能力：標準 200 毫米晶圓 200 毫米平面、透明和半透明基板

接觸區：光斑寬度為 1mm 的邊緣觸點

減少接觸邊緣處理預對準器可容忍交付晶圓的較大初始偏移（最大 6mm）