美國Logosol, LPA8ET-3 邊緣處理預(yù)對準(zhǔn)儀,LPA8ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-LH812-(C)

減少接觸邊緣處理 用于 200mm 晶圓的預(yù)對準(zhǔn)器

對準(zhǔn)能力：標(biāo)準(zhǔn) 200mm 晶圓 200mm TAIKO

晶圓 接觸區(qū)：光斑寬度為 1mm 的邊緣接觸

接觸區(qū)：光斑寬度為 1mm 的邊緣觸點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)配置：為晶圓 C（交叉）配置提供最均勻的支撐：為更厚的末端執(zhí)行器提供空間，并從三個(gè)側(cè)面提供相等的通道與上一代邊緣處理預(yù)對準(zhǔn)器（最大 6 毫米）相比，兩種配置都能容忍交付晶圓的更大初始偏移