美國Logosol,LPA6EH-3, 邊緣處理預對準儀,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE, 用于 150mm 晶圓的預對準器
LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE
對準能力：標準 150 毫米晶圓 150 毫米平面、透明和半透明基板
接觸區：光斑寬度為 1mm 的邊緣觸點
減少接觸邊緣處理預對準器可容忍交付晶圓的較大初始偏移（最大 6mm）
規格:
美國Logosol,LPA6EH-3, 邊緣處理預對準儀,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE, 用于 150mm 晶圓的預對準器
LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE
對準能力：標準 150 毫米晶圓 150 毫米平面、透明和半透明基板
接觸區：光斑寬度為 1mm 的邊緣觸點
減少接觸邊緣處理預對準器可容忍交付晶圓的較大初始偏移（最大 6mm）
規格:
