美國Logosol,預(yù)對準(zhǔn)器, LPA312-3 ,獨立晶圓預(yù)對準(zhǔn)器
獨立
用于 45 毫米 – 480 毫米物體高精度對準(zhǔn)的自主設(shè)備，包括方形和雙層基板，無需機(jī)械重新定位即可單單元處理多種尺寸的物體，卡盤加載和銷釘加載模式，以及高精度選項。
創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計無需外部控制器和互連電纜，同時保持直接兼容性
由超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)、即時的響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位
運(yùn)動控制軟件具有一整套常用命令，可與各種半導(dǎo)體平臺兼容和連接
典型的對中周期時間小于 4 秒，有助于實現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量
LPA312-3 規(guī)格
LPA312-3 一般尺寸
