美國Logosol,預對準器, 邊緣處理,邊緣處理預對準儀, LPA6EH-3 , LPA8ET-3 ,LPA8EH-3 , LPA68EH-3, LPA8ET-3,LPA12ET-3, LPA812EH-3

用于 150mm 晶圓的獨立邊緣處理預對準器

LPA6EH-3-REHV1-S29-S（B）-R560V-NE系列

減少接觸邊緣處理 用于 150mm 晶圓的預對準器

對準能力：標準 150 毫米晶圓 150 毫米平面、透明和半透明基板

接觸區：光斑寬度為 1mm 的邊緣觸點

減少接觸邊緣處理預對準器可容忍交付晶圓的較大初始偏移（最大 6mm）

規格