美國Logosol,預對準器, 邊緣處理,用于 300mm 晶圓,獨立邊緣處理預對準器,LPA12ET-3-RETV1-S38-S（B）-R880V-NE-（C）

用于 300mm 晶圓的邊緣處理預對準器

對準能力：標準 300 毫米晶圓 300 毫米 TAIKO 晶圓

接觸區：光斑寬度為 1mm 的邊緣觸點

標準配置：為晶圓提供最均勻的支撐

C（交叉）配置：為較厚的末端執行器提供空間，并從三個側面平等進入

與上一代邊緣處理預對準器（最大 6 毫米）相比，兩種配置都能容忍交付晶圓的更大初始偏移