美國Logosol,獨(dú)立晶圓預(yù)對準(zhǔn)器,快速交換,LPA12FS-3

創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計(jì)無需外部控制器和互連電纜，同時(shí)保持直接兼容性

基于專有設(shè)計(jì)的快速交換功能，允許晶圓卡盤負(fù)載低于引腳水平

先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位

運(yùn)動(dòng)控制軟件具有一整套常用命令，可與各種半導(dǎo)體平臺(tái)兼容和連接

典型的對中周期時(shí)間小于 5 秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量