創新、高性能，符合Class 1標準
獨特的一體化設計，無需外部控制器和連接電纜，同時保持即插即用的兼容性

掃描電子元件、運動控制器和電源集成在行業標準尺寸內
由超低慣量無刷電機驅動，實現平滑、即時響應

先進的掃描電子元件能夠檢測透明、半透明和不透明物體，無需在不同尺寸之間進行機械重新定位
與晶圓處理機器人無縫接口，支持從45mm到480mm的所有晶圓尺寸，以及相應尺寸的方形基板

Logosol控制軟件具備全面的命令集，能夠與多種半導體平臺兼容和接口
快速對準周期時間有助于實現最大系統吞吐量

可作為獨立設備使用，也可作為嵌入式設備與晶圓處理機器人協同工作
固定選項包括真空、非真空和邊緣處理