Logosol diamond H5晶圓機(jī)器人、Logosol晶圓處理平臺(tái)

Diamond H5系列真空機(jī)器人代表了晶圓處理設(shè)備設(shè)計(jì)和可靠性方面的重大工程進(jìn)步。

得益于技術(shù)先進(jìn)的組件，機(jī)器人利用超低慣性、高響應(yīng)的無(wú)刷伺服電機(jī)，結(jié)合零間隙Harmonic Drive?齒輪，大大提高了靈活性和精度。

創(chuàng)新的一體化設(shè)計(jì)將運(yùn)動(dòng)控制器、伺服放大器和電源整合到機(jī)器人的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)足跡中。高強(qiáng)度結(jié)構(gòu)構(gòu)件能夠安裝在法蘭的頂面或底面上，而不會(huì)影響系統(tǒng)剛度。可聯(lián)網(wǎng)的RS-485和以太網(wǎng)接口補(bǔ)充了標(biāo)準(zhǔn)的RS-232和示教器連接。強(qiáng)大的原生晶圓處理和腳本語(yǔ)言有助于快速開(kāi)發(fā)軟件，將機(jī)器人嵌入OEM應(yīng)用環(huán)境。
對(duì)傳統(tǒng)機(jī)器人“宏”命令的全面仿真降低了與各種現(xiàn)有半導(dǎo)體工具的兼容性。

特點(diǎn)

模塊化和高度可定制的設(shè)計(jì)
完全集成的運(yùn)動(dòng)控制器、伺服放大器和電源
高響應(yīng)無(wú)刷電機(jī)和精確的零間隙
Harmonic Drive?齒輪
主機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)RS-232接口和以太網(wǎng)（Telnet）接口
先進(jìn)的32位實(shí)時(shí)運(yùn)動(dòng)控制內(nèi)核
強(qiáng)大的晶圓處理固件
全面的軟件工具和實(shí)用程序
傳統(tǒng)機(jī)器人宏命令的軟件仿真
可選示教器終端
通用數(shù)字輸入和輸出，供定制使用
可靠性——平均故障間隔時(shí)間>60000小時(shí)