Logosol LPA6EH-3晶圓預(yù)對準(zhǔn)器

減少接觸邊緣處理150mm晶圓的預(yù)對準(zhǔn)器
協(xié)調(diào)能力：
標(biāo)準(zhǔn)150mm晶圓150mm平面、透明和半透明基板
接觸區(qū)：邊緣接觸，斑點寬度為1mm
減少接觸邊緣處理預(yù)對準(zhǔn)器可容忍交付晶圓的較大初始偏移（高達(dá)6mm）