Logosol diamond H5晶圓機器人、Logosol晶圓處理平臺

Diamond H5系列真空機器人代表了晶圓處理設備設計和可靠性方面的重大工程進步。

得益于技術先進的組件，機器人利用超低慣性、高響應的無刷伺服電機，結合零間隙Harmonic Drive?齒輪，大大提高了靈活性和精度。

創新的一體化設計將運動控制器、伺服放大器和電源整合到機器人的行業標準足跡中。高強度結構構件能夠安裝在法蘭的頂面或底面上，而不會影響系統剛度。可聯網的RS-485和以太網接口補充了標準的RS-232和示教器連接。強大的原生晶圓處理和腳本語言有助于快速開發軟件，將機器人嵌入OEM應用環境。
對傳統機器人“宏”命令的全面仿真降低了與各種現有半導體工具的兼容性。

特點

模塊化和高度可定制的設計
完全集成的運動控制器、伺服放大器和電源
高響應無刷電機和精確的零間隙
Harmonic Drive?齒輪
主機的標準RS-232接口和以太網（Telnet）接口
先進的32位實時運動控制內核
強大的晶圓處理固件
全面的軟件工具和實用程序
傳統機器人宏命令的軟件仿真
可選示教器終端
通用數字輸入和輸出，供定制使用
可靠性——平均故障間隔時間>60000小時