Logosol LPA系列晶圓預對準器

創新、高性能、兼容1級
獨特的一體化設計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了插入式兼容性
掃描電子設備、運動控制器和電源包含在行業標準占地面積內
由超低慣性無刷電機驅動，實現平穩、即時的響應
先進的掃描電子設備能夠檢測透明、半透明和不透明物體，而無需在不同尺寸之間進行機械重新定位
與晶圓搬運機器人無縫對接，支持45mm至480mm的所有晶圓尺寸以及相應尺寸的方形基板
Logosol控制軟件具有一套全面的命令，可與各種半導體平臺兼容和接口
快速的對齊周期有助于實現最大的系統吞吐量
既可作為獨立設備，也可作為與晶圓搬運機器人協同工作的嵌入式設備
保留選項包括真空、非真空和邊緣處理