創新的高性能一體式設計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了插入式兼容性
由超低慣性無刷電機驅動，實現平穩、即時的響應
先進的掃描電子設備能夠檢測透明，半透明和不透明物體，無機械
在不同晶圓尺寸之間重新定位
運動控制軟件具有一套全面的常用命令，可與各種半導體平臺兼容和接口
典型的對齊周期時間小于四秒，有助于實現最大系統吞吐量