Logosol LPA312-3獨立式晶圓預對準器

創新的高性能一體式設計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了插入式兼容性
由超低慣性無刷電機驅動，平穩、瞬時響應
先進的掃描電子設備能夠檢測透明，半透明和不透明物體，無需在不同晶片尺寸之間進行機械重新定位
運動控制軟件具有一套全面的常用功能
使用命令實現與各種半導體平臺的兼容性和接口
典型的對齊周期時間小于四秒，有助于實現最大系統吞吐量