MASTERBOND,EP17HTDA-1,用于可穿戴設備的空氣微流體顆粒物傳感器

應用

暴露于空氣中的顆粒物可能會導致許多不良健康影響，尤其是直徑小于2.5微米的顆粒物更為危險。芝加哥伊利諾伊大學和加州大學伯克利分校的研究人員設計、制造并實驗評估了一種顆粒物傳感器，用于監測用戶對環境顆粒物的暴露情況。1

關鍵參數和要求

Fahimi等人開發了直接讀取的微機電系統（MEMS）傳感器，采用了一種稱為虛擬沖擊的慣性顆粒分離技術。顆粒物被導入到空氣微流體電路中，并沉積在質量傳感共振器的表面，該共振器測量顆粒的質量濃度。1

質量選擇是通過使用延遲深反應離子刻蝕工藝制造的垂直虛擬沖擊器來完成的。這種垂直結構相比之前的可穿戴傳感器原型實現了更高水平的微型化。此外，該傳感器的設計顯著減少了通常與顆粒物積累相關的內部污垢問題。

設備中使用的互補金屬氧化物半導體（CMOS）芯片和薄膜體聲波諧振器（FBAR）分別通過Master Bond EP17HTDA-1粘合到硅基座和底板上。值得注意的是，CMOS的硅基座尺寸為1mm × 1mm × 0.5mm，FBAR的硅基座尺寸為1mm × 1mm × 1mm。

結果

Master Bond EP17HTDA-1為研究人員提供了適合于晶片粘附的理想粘度流動特性，這對于非常小的粘接區域尤為重要。作為一種單組分熱固化環氧樹脂，它提供了方便的應用和處理，同時具備所需的電氣絕緣性和熱導率，并具有高晶片剪切強度，以確保傳感器組裝的可靠性。

參考文獻

1 Fahimi, D., Mahdaviopour, O., 等. 垂直堆疊的MEMS PM2.5傳感器用于可穿戴應用。

https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0924424719304030.

http://ydzhly.com/masterbond-/EP17HTDA-1/