MASTERBOND,UV15,用于電光波導

Master Bond UV15已被選用用于制造多種應用的聚合物光學波導。在墨爾本皇家理工大學進行的研究項目中，UV15被用于光學聚合物平板波導的上、下包層。1 在德克薩斯大學奧斯汀分校進行的研究中，UV15形成了設計用于光調制器的波導的下包層。2 荷蘭特文特大學的研究人員使用UV15作為核心層制造了多模聚合物波導。3

這三個研究中的波導均采用旋涂技術沉積包層和核心層，光刻技術進行波導圖案制作，反應離子刻蝕（RIE）將波導圖案轉移到核心層。在每項研究中，選擇了不同組合的材料（如UV15和一個或兩個其他聚合物材料）作為核心層和兩個包層，并且根據具體的設計和性能目標調整了制造工藝。

滿足波導設計標準
UV15非常適合許多聚合物光學波導設計。它在633 nm波長處的折射率為1.48，并且能夠良好地粘附硅，硅通常用作波導制造的基底。單組分的UV15易于旋涂，形成平滑均勻的膜層，厚度在波導中使用的范圍內（大約5到100 μm）。由于UV15可以耐受光刻中使用的溶劑，因此可以進行圖案化和刻蝕，形成帶狀波導通道。

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Master Bond UV15已成功用于制造低損耗的電光聚合物波導。通過精確控制旋涂、固化、光刻和刻蝕過程，可以優化UV15及其他用于波導設計的材料的性能，以實現特定的設計目標。由此制造的聚合物波導成本相對較低，并可用于實現各種電光器件。

• Simon, Darren. 《用于電光應用的聚合物薄膜的化學和形態學》. 博士論文, 澳大利亞皇家墨爾本理工大學, 2006.
• Zhou, Qingjun. 《基于聚合物Y形饋送定向耦合器的電光調制器》. 博士論文, 德克薩斯大學奧斯汀分校, 2004.
• Musa, S., 等. 《制造用于局域網和光互連的聚合物多模波導》. 《IEEE/LEOS Benelux分會論文集》, 2000, pp.