代理MCALLISTER電子束蒸發源,電子束蒸發系統E-beam
MCALLISTER電子束蒸發源是一種超高壓兼容源，用于控制金屬、半導體和絕緣體的沉積。由于其尺寸小和2?英寸（CF38）法蘭安裝，MCALLISTER電子束蒸發源幾乎適用于任何現有的特高壓室。MCALLISTER電子束蒸發源易于使用和維護，包括水冷、一體式百葉窗、所有電氣和機械饋通
MCALLISTER坩堝或實心桿
MCALLISTER蒸發是通過電子轟擊含有蒸發劑的耐火坩堝（各種可用材料）或高達1000 VDC@125 mA（125瓦）的實心棒/線來刺激的。待蒸發的材料位于易于更換的燈絲中心，該燈絲在0-12安培下具有0-12伏的無限可調功率。
用戶可以在不拆卸整個源的情況下補充蒸發的材料。MCALLISTER電子束蒸發源包括一個使蒸發劑相對于燈絲移動的線性驅動器，為電子束提供焦點調節。通過控制單元前面板上的雙表顯示燈絲電流和電子束電流/電壓。
MCALLISTER流量監測器
蒸發物質通量中的小電極收集部分電離環境中存在的離子。初始校準后，此功能允許快速輕松地恢復到已知的沉積速率。
緊湊型尺寸
MCALLISTER電子束蒸發源整個組件安裝在標準的2?”CF法蘭上，并將清除1?”管的內徑。水輸入/輸出連接、電源、熱電偶和波紋管密封百葉窗的位置很方便。燈絲塊可以很容易地拆卸下來，以更換/更換蒸發材料。由于定制制造的成本通常不超過McAllister技術服務公司的標準產品，因此可以在訂購時指定法蘭到尖端的距離。
