MCALLISTER電子束蒸發(fā)源

代理MCALLISTER電子束蒸發(fā)源,電子束蒸發(fā)系統(tǒng)E-beam

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MCALLISTER電子束蒸發(fā)源是一種超高壓兼容源,用于控制金屬、半導體和絕緣體的沉積。由于其尺寸小和2?英寸(CF38)法蘭安裝,MCALLISTER電子束蒸發(fā)幾乎適用于任何現(xiàn)有的特高壓室。MCALLISTER電子束蒸發(fā)源易于使用和維護,包括水冷、一體式百葉窗、所有電氣和機械饋通

MCALLISTER坩堝或?qū)嵭臈U
MCALLISTER蒸發(fā)是通過電子轟擊含有蒸發(fā)劑的耐火坩堝(各種可用材料)或高達1000 VDC@125 mA(125瓦)的實心棒/線來刺激的。待蒸發(fā)的材料位于易于更換的燈絲中心,該燈絲在0-12安培下具有0-12伏的無限可調(diào)功率。
用戶可以在不拆卸整個源的情況下補充蒸發(fā)的材料。MCALLISTER電子束蒸發(fā)源包括一個使蒸發(fā)劑相對于燈絲移動的線性驅(qū)動器,為電子束提供焦點調(diào)節(jié)。通過控制單元前面板上的雙表顯示燈絲電流和電子束電流/電壓。

MCALLISTER流量監(jiān)測器
蒸發(fā)物質(zhì)通量中的小電極收集部分電離環(huán)境中存在的離子。初始校準后,此功能允許快速輕松地恢復(fù)到已知的沉積速率。

緊湊型尺寸
MCALLISTER電子束蒸發(fā)源整個組件安裝在標準的2?”CF法蘭上,并將清除1?”管的內(nèi)徑。水輸入/輸出連接、電源、熱電偶和波紋管密封百葉窗的位置很方便。燈絲塊可以很容易地拆卸下來,以更換/更換蒸發(fā)材料。由于定制制造的成本通常不超過McAllister技術(shù)服務(wù)公司的標準產(chǎn)品,因此可以在訂購時指定法蘭到尖端的距離。

 


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