6晶片 & 8晶片旋轉(zhuǎn)式傳感器

多晶片鍍膜監(jiān)控解決方案

當(dāng)您的鍍膜工藝需要長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，并確保速率監(jiān)控不間斷時(shí)，MCVAC多晶片旋轉(zhuǎn)傳感器是您的理想選擇。

核心設(shè)計(jì)特點(diǎn)：

• 采用MCVAC標(biāo)準(zhǔn)晶片座，兼容行業(yè)通用0.55英寸（約14mm）直徑晶片（與全系傳感器產(chǎn)品一致）
• 晶片垂直法蘭安裝設(shè)計(jì)，并可調(diào)整30°偏軸角度，確保精準(zhǔn)定位
• 支持任意長(zhǎng)度定制，適配各類真空法蘭

產(chǎn)品特性

✅?6晶片型號(hào)（零件號(hào)：6000-001）
✅?8晶片型號(hào)（零件號(hào)：8000-001）
✅?緊湊型結(jié)構(gòu)，節(jié)省安裝空間
✅?可選擋板中間位設(shè)計(jì)，增強(qiáng)工藝靈活性
✅?兩種安裝方式：

• 可拆分式（適配內(nèi)-外安裝需求）
• 一體化整體結(jié)構(gòu)（更高穩(wěn)定性）
  ✅?便捷晶片更換，維護(hù)效率高
  ✅?晶片失效自動(dòng)切換，保障鍍膜連續(xù)性
  ✅?超高真空（UHV）兼容
  ✅?晶片位置記憶功能，精準(zhǔn)追蹤指定晶片狀態(tài)
  ✅?PLC電機(jī)控制器，兼容主流鍍膜監(jiān)控系統(tǒng)
  ✅?3/16英寸（約4.76mm）冷卻管路，優(yōu)化熱穩(wěn)定性

應(yīng)用優(yōu)勢(shì)：

• 適用于長(zhǎng)時(shí)間鍍膜（如光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體薄膜沉積等）
• 減少停機(jī)換片次數(shù)，提升生產(chǎn)效率
• 高兼容性設(shè)計(jì)，適配多種真空鍍膜設(shè)備