美國 McVac 高溫薄膜傳感器 920-001–920-006

我們的高溫薄膜傳感器系列是在可旋轉的 ConFlat 法蘭上制造的。這些通常用于 UHV 和高溫過程（高達 300 攝氏度）。我們還在 1 英寸底板螺栓上提供高溫傳感器，但是，溫度極限較低（205 攝氏度），因為它們使用氟橡膠 O 形圈進行真空密封。我們的高溫傳感器經過精心設計，沒有裸露的同軸電纜。我們將同軸電纜連接線真空密封在剛性 3/16 英寸外徑不銹鋼管內。這消除了電纜護套材料在烘烤或高溫涂層過程中的脫氣。這些傳感器是按訂單制造的，客戶提供相關信息，例如傳感器冷卻管和同軸電纜連接管的特定長度和彎曲度。使用我們的快門/執行器的傳感器的工作溫度限制為 200 攝氏度，最高烘烤溫度為 300 攝氏度。

美國 McVac 是一家專注于薄膜傳感器技術的公司，其高溫薄膜傳感器（High-Temperature Quartz Crystal Sensors）在高溫條件下的薄膜厚度和沉積速率監控方面表現出色。

1. 核心特點

• 高溫穩定性：
  • 設計用于高達 400°C 甚至更高 的操作環境，適應高溫薄膜沉積工藝（如 PVD 和 CVD）。
  • 特殊材料和工藝處理保證了傳感器在極端溫度下的可靠性和精度。
• 精確測量：
  • 采用石英晶體微量平衡技術（QCM），可以在納米級范圍內精確監控沉積厚度。
  • 提供實時數據反饋，適用于動態調整工藝參數。
• 抗腐蝕設計：
  • 使用耐化學腐蝕的材質（如鍍鉑或鍍鉬電極），適合腐蝕性氣氛中的工作。
• 兼容性強：
  • 與多種沉積設備兼容，包括真空蒸發、濺射沉積和離子束沉積系統。
  • 可集成至現有薄膜沉積工藝中，提升生產精度。

2. 應用領域

• 半導體工業：
  • 高精度監控薄膜厚度，用于晶圓制造和晶體管工藝。
• 光學鍍膜：
  • 在光學元件鍍膜過程中，確保均勻的鍍層厚度。
• 航空航天材料：
  • 精確監控耐高溫涂層的沉積過程。
• 能源與新能源領域：
  • 適用于太陽能電池、燃料電池等薄膜制造過程。
• 材料科學與研究：
  • 支持復雜材料和高溫環境下的表面涂層實驗。

3. 產品設計

• 晶體頻率：
  • 支持常見的 6 MHz 和 5 MHz 石英晶體，適配多種工藝需求。
• 結構設計：
  • 熱穩定外殼和連接器，確保在高溫下無信號衰減或干擾。
• 支持多傳感器配置：
  • 提供多點測量功能，用于監測不同位置的薄膜沉積均勻性。

4. 優勢

• 高溫環境下的可靠性：
  • 卓越的穩定性和長壽命，減少了停機維護需求。
• 實時響應：
  • 高速數據采集和處理，適應現代化自動化生產線。
• 定制化能力：
  • McVac 可根據具體應用需求提供定制的傳感器解決方案（如特殊溫度范圍、材質或尺寸）。

5. 技術規格