TMC-13厚度控制器 最多6個(gè)厚度監(jiān)控器和快速SE軟件
六個(gè)石英平衡通道
6.5英寸TFT觸摸屏顯示屏
直觀的多語言界面
緊湊型設(shè)計(jì)
大多數(shù)活性真空計(jì)的兩種輸入
最多8個(gè)快門和I/0可重新編程
繼電器輸出
兩個(gè)可重編程模擬輸出，用于速率和厚度監(jiān)測，分辨率為16位
通訊接口:RS232/485，以太網(wǎng)IP
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)6 MHz晶體
頻率分辨率:
0.1赫茲(適用于TM 13),或0.01赫茲(用于TM 14)
Rapid SE和LabVIEW庫
最多可操作兩個(gè)多晶體傳感器頭(氣動(dòng)或步進(jìn)電機(jī))
19英寸機(jī)架安裝或獨(dú)立
- 像使用單晶體一樣輕松地操作您的多晶體傳感器頭。
- 分別控制每個(gè)單晶。
一鍵材料更換
常用材料的收藏夾
一鍵更換單元
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