TMC-13厚度控制器 最多6個厚度監控器和快速SE軟件
六個石英平衡通道
6.5英寸TFT觸摸屏顯示屏
直觀的多語言界面
緊湊型設計
大多數活性真空計的兩種輸入
最多8個快門和I/0可重新編程
繼電器輸出
兩個可重編程模擬輸出，用于速率和厚度監測，分辨率為16位
通訊接口:RS232/485，以太網IP
行業標準6 MHz晶體
頻率分辨率:
0.1赫茲(適用于TM 13),或0.01赫茲(用于TM 14)
Rapid SE和LabVIEW庫
最多可操作兩個多晶體傳感器頭(氣動或步進電機)
19英寸機架安裝或獨立
- 像使用單晶體一樣輕松地操作您的多晶體傳感器頭。
- 分別控制每個單晶。
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