當需要可靠、連續的速率監測和控制以進行長時間涂層運行時,無需中斷過程,則 MCVAC 多晶旋轉傳感器是必要的工具。
McVac 的 6 和 8 多晶傳感器采用 McVac 晶體支架和行業標準的 .550 英寸直徑晶體,就像我們的整個晶體傳感器產品線一樣。它們的設計使晶體“垂直”于法蘭。為了精確定位活性晶體,我們的傳感器可以離軸彎曲高達 30 度。它們可用于任何長度和任何樣式的真空法蘭。
產品特點:
- 6 晶體(部件號 6000-001)
- 8 晶體(零件號 8000-001)
- 緊湊的設計
- 快門選項的中間位置
- 可以耦合到真空法蘭上,進行由內而外的安裝,也可以構建為一體式連續裝置
- 易于重新加載的晶體傳感器本體
- 晶振故障時自動切換
- 兼容 UHV
- 位置位置存儲器,用于定位和指定任何特定晶體
- PLC 電機控制器與大多數厚度監視器和控制器連接
- 使用 3/16 英寸直徑的冷卻管,具有良好的熱穩定性