MDC可烘烤真空角閥,直列閥 MDC可烘烤超高真空角閥,直列閥
MDC可烘烤全金屬角閥和直列閥設計用于超高真空環境,在這種環境中,高溫會阻止使用彈性體和低溫墊片金屬。這些閥門可提供從大氣壓到10?-11?Torr?以下的可靠高溫密封。在可能的情況下,為了盡可能減少潛在泄漏路徑的數量,已經取消了閥帽墊片密封。裝有閥蓋密封的閥的設計便于更換墊片。閥帽安裝的閥上閥體端口的尺寸和方向不允許通過其端口移除墊圈。?
當在環境溫度下運行時,全金屬閥門可在常規提升閥芯墊圈更換之間提供數百次無泄漏循環。在高溫應用中,壽命周期與烘烤溫度成反比。在最高烘烤溫度450°C下操作時,提動閥芯密封墊圈的壽命縮短至大約50個打開/關閉循環。
密封設計
真空密封是通過將提升閥的OFE銅墊圈壓在錐形不銹鋼刀刃座上來完成的,如右上圖所示。密封壓力會使銅制墊圈變形,該墊圈與錐形刀口座一致。在熱循環過程中,閥的加載機構抵消了部件的差膨脹,以保持密封完整性所需的均勻壓力。?
提動
閥芯墊圈的更換必須通過從系統上卸下閥來更換1-1 / 2“和2-1 / 2”全金屬角閥的提動閥墊圈,因為這兩個閥都有焊接的閥蓋。一旦從系統上拆下,只需將標準刀片螺絲刀插入底部端口并旋松銅墊片,即可輕松完成墊片更換,然后將銅墊片從閥的側端口抽出。3/4“角閥和所有直通閥均配有閥帽密封件,不需要完全從系統上拆下以更換墊圈。通過從閥體上拆下閥帽法蘭,即可完成墊圈的拆卸和更換。打開墊圈后,可通過標準刀片螺絲刀擰松螺釘輕松拆卸。
密封扭矩
全金屬閥門中的第一個密封或封閉會導致純銅墊片發生塑性變形,從而留下永久的印痕。第一次密封是在工廠制造的,然后以準備安裝的密封狀態運送給客戶。破壞該密封件后,可以根據規格表中的“ Poppet密封扭矩”數據對閥門加扭矩來重新密封。為了幫助后續的密封循環過程,每個閥體的頂部都裝有一個徑向刻度的游標板。游標板可為先前和后續的循環或扭矩位置提供視覺提示。
閥門兼容性
MDC提供兼容瓦里安和真空發生器(VG)的全金屬角閥和直列閥。每個產品表中的“閥門類型”列中的“瓦里安兼容”閥門都標記為“ V”。真空發生器兼容的閥門在閥門類型欄中以“ VG”標記標識。兼容性在本文中定義為用MDC全金屬閥門替換或互換瓦里安和/或真空發生器閥門的能力。兼容性僅限于裝有Del-Seal™CF端口法蘭的閥門,并且僅限于端口到端口的尺寸特性。換句話說,從任何閥的法蘭端口中心線到相對的端口的法蘭面的尺寸都與Varian和VG閥直接等效。其他MDC全金屬閥門尺寸可能與Varian和Vacuum Generators產品上的尺寸有所不同。

標準功能 |
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技術指標 | |
材料? | |
?法蘭盤 | 304不銹鋼 |
?閥體? | 304不銹鋼 |
?螺栓? | 300秒 |
?墊片,提升閥芯和閥蓋? | OFE銅 |
端口固定 | |
?螺栓類型 | 鍍銀12點和內六角螺栓 |
?螺帽類型 | 六角螺母 |
真空 | |
?范圍? | 1×10?-11托 |
?泄漏測試 | 2×10?-10?cc / sec的He |
提升閥芯密封扭矩 | |
?3/4“閥,第一/后續密封 | 7-10 / 6-7磅-英尺 |
?1-1 / 2“閥,第一/后續密封? | 4-8 / 4-7磅-英尺 |
?2-1 / 2“閥,第一/后續密封 | 7-10 / 6-7磅-英尺 |
溫度范圍 | |
?封閉/開放 | 300°C / 450°C |
?全金屬閥門-角度 |
?3/4英寸角閥 |
?1-1 / 2英寸角閥 |
?2-1 / 2英寸角閥 |
?全金屬閥門-直列 |
?1-1 / 2英寸角閥 |
?2-1 / 2英寸角閥 |