壓電輔助臺(tái)是一個(gè)手動(dòng)臺(tái),其精細(xì)定位分辨率為20納米,而粗略定位范圍可為幾毫米至13毫米。壓電輔助臺(tái)主要用于定位工作臺(tái)或夾具,或在納米壓痕等應(yīng)用中控制非常精確和非常小的負(fù)載。壓電輔助臺(tái)體積小巧,用戶友好。
壓電輔助臺(tái)工作原理:
在X軸和Y軸的每一個(gè)中,壓電輔助臺(tái)具有作為粗調(diào)機(jī)構(gòu)的千分尺和作為微調(diào)機(jī)構(gòu)的壓電輔助機(jī)構(gòu)。壓電輔助舞臺(tái)是一種精細(xì)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)備,用于精確定位或精確力控制。通過壓電致動(dòng)器的伸長和收縮可以獲得精確的定位和精確的力控制。在粗調(diào)機(jī)構(gòu)中,可調(diào)線性運(yùn)動(dòng)范圍為13mm,分辨率為10微米。在微調(diào)機(jī)構(gòu)中,可調(diào)線性運(yùn)動(dòng)范圍為35微米,分辨率為20納米。需要納米分辨率的精確定位是可能的。通過轉(zhuǎn)動(dòng)千分尺旋鈕,可以實(shí)現(xiàn)粗調(diào)機(jī)構(gòu)的精確定位。
Mechano Transformer壓電輔助臺(tái)主要型號:
型號 | 尺寸 | 粗動(dòng) | 微動(dòng) | 精細(xì)移動(dòng)最小分辨率 | 千分尺操作位置 |
MTPA-2251SPA | 25×25mm | ±3mm | 25μm & above | Below20nm | Side |
MTPA-2251SRPA | 25×25mm | ±3mm | 25μm & above | Below20nm | Side |
MTPA-2251SRZPA | 25×25mm | ±3mm | 25μm & above | Below20nm | Side |
MTPA-2251SZPA | 25×25mm | ±3mm | 25μm & above | Below20nm | Side |
MTPA-2401SPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30μm? & above | Below20nm | Side |
MTPA-2401SRPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30μm? & above | Below20nm | Side |
MTPA-2401SRZPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30μm? & above | Below20nm | Side |
MTPA-2401SZPA | 40×40mm | ±6.5mm | 30μm? & above | Below20nm | Side |
MTPA-2601SPA | 60x60mm | ±6.5mm | 30μm? & above | Below20nm | Side |
MTPA-2601SRPA | 60x60mm | ±6.5mm | 30μm? & above | Below20nm | Side |
MTPA-2601SRZPA | 60x60mm | ±6.5mm | 30μm? & above | Below20nm | Side |
MTPA-2601SZPA | 60x60mm | ±6.5mm | 30μm? & above | Below20nm | Side |