Mechano Transformer MTPA-2251SPA 壓電輔助臺(tái)Piezo Assist Stage

壓電輔助臺(tái)

壓電輔助臺(tái)是一個(gè)手動(dòng)臺(tái),其精細(xì)定位分辨率為20納米,而粗略定位范圍可為幾毫米至13毫米。壓電輔助臺(tái)主要用于定位工作臺(tái)或夾具,或在納米壓痕等應(yīng)用中控制非常精確和非常小的負(fù)載。壓電輔助臺(tái)體積小巧,用戶友好。

壓電輔助臺(tái)工作原理:

在X軸和Y軸的每一個(gè)中,壓電輔助臺(tái)具有作為粗調(diào)機(jī)構(gòu)的千分尺和作為微調(diào)機(jī)構(gòu)的壓電輔助機(jī)構(gòu)。壓電輔助舞臺(tái)是一種精細(xì)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)備,用于精確定位或精確力控制。通過壓電致動(dòng)器的伸長和收縮可以獲得精確的定位和精確的力控制。在粗調(diào)機(jī)構(gòu)中,可調(diào)線性運(yùn)動(dòng)范圍為13mm,分辨率為10微米。在微調(diào)機(jī)構(gòu)中,可調(diào)線性運(yùn)動(dòng)范圍為35微米,分辨率為20納米。需要納米分辨率的精確定位是可能的。通過轉(zhuǎn)動(dòng)千分尺旋鈕,可以實(shí)現(xiàn)粗調(diào)機(jī)構(gòu)的精確定位。

Mechano Transformer壓電輔助臺(tái)主要型號:

型號尺寸粗動(dòng)微動(dòng)精細(xì)移動(dòng)最小分辨率千分尺操作位置
MTPA-2251SPA25×25mm±3mm25μm & aboveBelow20nmSide
MTPA-2251SRPA25×25mm±3mm25μm & aboveBelow20nmSide
MTPA-2251SRZPA25×25mm±3mm25μm & aboveBelow20nmSide
MTPA-2251SZPA25×25mm±3mm25μm & aboveBelow20nmSide
MTPA-2401SPA40×40mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2401SRPA40×40mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2401SRZPA40×40mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2401SZPA40×40mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2601SPA60x60mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2601SRPA60x60mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2601SRZPA60x60mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide
MTPA-2601SZPA60x60mm±6.5mm30μm? & aboveBelow20nmSide


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