NLS4系列線性滑軌提供XY和XYZ配置。NLS4線性平臺的真空兼容版本在尺寸上與標準NLS4相同。NLS4真空定位平臺的每個部分都經過修改，以最小化虛擬泄漏和氣體釋放。所有鋁部件均經過透明銥處理，軸承使用Braycote 601EF潤滑脂潤滑，所有電線均采用特氟龍絕緣。步進電機和限位開關專為真空應用設計。緊固件采用不銹鋼制成，并在盲孔中通風，以消除虛擬泄漏。驅動系統采用不銹鋼ACME絲杠和乙縮醛塑料驅動螺母。驅動螺母提供零間隙操作，能夠自動調整磨損，以確保在整個平臺使用壽命內保持零間隙。使用線性導軌軸承可提供平穩的運動、高負載能力和剛性。由于滑塊在整個行程中得到支撐，因此可以實現良好的懸臂負載能力。電機和信號線長0.6米（24英寸），并配有DB-9連接器。請注意，DB-9連接器不兼容真空環境。
NLS4真空定位平臺技術參數：
| Travel | 50mm (2″), 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 250mm (10″), 300mm (12″), 350mm (14″), 400mm (16″), 500mm (20″), 600mm (24″) | |
| Resolution | 1.5875 mm/rev lead | 0.03 μm @ 50,000 steps/rev motor resolution |
| 6.35 mm/rev lead | 0.13 μm @ 50,000 steps/rev motor resolution | |
| Maximum Speed | 1.5875 mm/rev lead | 10 mm/second |
| 6.35 mm/rev lead | 50 mm/second | |
| Maximum Load | 22.6 kg (50 lb) | |
| Repeatability Bidirectional | 10 μm | |
| Accuracy | 0.0006 mm/mm | |
| Stage Weight | NLS4-2 = 1.3 kg (3 lb) | NLS4-4 = 2.1 kg (4.7 lb) | NLS4-6 = 2.4 kg (5.3 lb) | |
| NLS4-8 = 2.5 kg (5.7 lb) | NLS4-10 = 2.8 kg (6.3 lb) | NLS4-12 = 3.1 kg (6.9 lb) | ||
| Material | Aluminum | |
| Finish | Clear Irridite | |
| Operating Temperature | 0°C to 50°C (motor case should not exceed 80°C) | |
