20kV 離子槍

• 光斑尺寸可調(diào) ≥ 5um，用于空間定義的濺射或注入

• 發(fā)射調(diào)節(jié)轟擊提供穩(wěn)定的離子電流

• 連續(xù)可變光束能量 5kV 至 20kV

• 用于光束掃描和像散校正的雙八極桿

• 用于減小光斑尺寸的物鏡前掃描

• 無需將細(xì)絲直接連接到樣品視線，以避免樣品污染

• 客戶可更換的細(xì)絲和光束修整孔徑

• 雙線材可在線材使用壽命結(jié)束時提供運(yùn)行備份

• 制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料

• 差速泵送，以最大限度地減少主室氣體負(fù)荷

• 在惰性氣體和氮?dú)夥秶鷥?nèi)運(yùn)行

• 釷涂層銥絲，用于氧氣操作

• 可變孔徑，光斑尺寸低至 1 微米

• 用于快速光束脈沖的盲板

• 堿金屬源，用于處理 Cs、Li、Na、K 等

• 源烘箱，允許產(chǎn)生可蒸發(fā)材料的離子

• 帶集成 Wien 濾波器的源

• 特征	描述
  輸入功率	115/230V AC 50/60Hz 自動選擇
  光束能量	0 – 20000V，1mA
  對焦、聚光鏡	0 – 20000V，1mA
  燈絲功率	輻射調(diào)節(jié)，5V，最大 5A
  電離	電子加速電壓和發(fā)射軟件可選
  離子萃取	0-2500V 軟件可選
  撓度	±400V DV 電源用于 +X、-Y、+Y 和 -Y。其余八極元件由電阻分壓器網(wǎng)絡(luò)供電。可選的 8 通道偏轉(zhuǎn)電源，具有像散校正和二次電子成像功能
  聯(lián) 鎖	系統(tǒng)和輔助聯(lián)鎖裝置
  用戶界面	基于 USB 的圖形用戶界面
  機(jī)箱尺寸	483（寬） x 267（高） x 435（深） 毫米。19 英寸機(jī)架安裝機(jī)箱 6U 高