美國 Nonsequitur Technologies,離子槍1401 型,NTI 離子槍,電能 < 10kV,用于表面化學實驗,通用濺射
NTI 離子槍用于材料研究、表面分析和太陽風模擬等應用。它們是按訂單制造的，我們很樂意根據您的需求定制系統
電能 < 10kV
1401 型：通用濺射
1401 型非常適合用于表面化學實驗，例如使用 Auger 和 ESCA 進行樣品制備和深度剖析?？膳c惰性氣體一起使用
高電流密度 15 至 50 mA/cm2，具體取決于所選的光斑尺寸。
獨特的離子源設計，發射穩定。
雙鎢絲，典型鎢絲壽命> 500 小時。氧化釔涂層銥可選?？筛鼡Q光束調整孔徑，典型使用壽命> 500 小時。
制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料。
差速泵送，以最大限度地減少主室氣體負載。
噴槍易于拆卸進行維護。
電氣連接和進氣口位于單個法蘭上，便于安裝。
預設的提取和聚光鏡參數（三種光斑大小設置），可實現可重復操作。積分光束電流測量。
直接測量離子源壓力。
系統和電纜聯鎖裝置可防止在真空不良或電纜移除的情況下通電。
電源和光柵發生器位于單個 51/4 高的 19 英寸機架安裝外殼中。
數字生成的光柵選項，用于均勻的蝕刻輪廓。計算機控制選項?？蛇x的離子源壓力調節
元件 | 描述 |
|---|---|
工作距離 | 25 毫米 |
光束能量 | ≤5KeV 無級變速 |
柵格大小 | 4 x 4 毫米（最?。?/div> |
安裝法蘭 | 70 毫米（2.75 英寸）平底 |
差速泵送 | 70 毫米（2.75 英寸）Conflat |
供氣入口 | 34 毫米（1.33 英寸）平底 |
源氣 | He， Ne， Ar， Kr， Xe |
烘烤溫度 | 最高 150 °C |
輸入功率 | 115/220 伏交流電自動選擇操作。熔斷電流為 3.3A |
光束能量 | 0 – 5000V 開關模式電源連續可變。O/P 電流：最大 1 mA。O/P 電容：0.0047 μF。 |
冷凝器 | 0 – 5000V 開關模式電源連續可變。O/P 電壓隨能量而變化。O/P 電流：最大 1 mA。O/P 電容：0.0047 μF |
目標聚焦 | 0 – 5000V 開關模式電源連續可變。O/P 電壓隨能量而變化。O/P 電流：最大 1 mA。O/P 電容：0.0047 μF |
燈絲功率 | 帶有前面板可選燈絲的輻射調節電源，最大電壓為 5 V @ 5A。 |
電子效應 | 內部可調的加速電壓和發射電流前面板計量。 |
離子萃取 | 內部可調至 1500V。 |
法拉第收集器 | 前面板瞬時開關允許通過面板安裝的顯示器監控光束電流。 |
撓度 | 可變雙極 350V 直流電源，用于 +X、-X、+Y 和 -Y 偏轉。其余的八極子元件由電阻分壓器網絡供電。 |
聯 鎖 | HV 電纜斷開會關閉 HV 電源?？烧{節的高壓聯鎖裝置可在系統超壓時關閉高壓電源。 系統和輔助聯鎖裝置可在系統或輔助設備發生故障時完全關閉。 |
前面板監控 | 數字面板儀表可對所有關鍵參數進行精確監控，包括;鏡頭電壓（41/2 位）、離子源壓力和束流（31/2 位）、燈絲電流和電壓（31/2 位）、發射電流（31/2 位）。 |
機箱尺寸 | 483（寬） x 132.5（高） x 435.4（深）毫米。19 英寸機架式桌面機箱 3U 高 |
