美國Nonsequitur Ion Gun 1450高能離子槍5keV 至 50keV
Nonsequitur Ion Gun 1450高能離子槍特點：
光斑尺寸可調 ≥ 5um，用于空間定義的濺射或注入
發射調節轟擊提供穩定的離子電流
連續可變光束能量 5kV 至 50kV
用于光束掃描和像散校正的雙八極桿
用于減小光斑尺寸的物鏡前掃描
無需將細絲直接連接到樣品視線，以避免樣品污染
客戶可更換的細絲和光束修整孔徑
雙線材可在線材使用壽命結束時提供運行備份
制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料
差速泵送，以最大限度地減少主室氣體負荷
在惰性氣體和氮氣范圍內運行
Nonsequitur Ion Gun 1450高能離子槍性能：
Mode | 光斑尺寸 （μm FWHM） | Beam Current | Current Density (A/cm2) |
|---|---|---|---|
Large Spot | 25 | 20μA | 4 |
Medium Spot | 8 | 5μA | 10 |
Small Spot | 5 | 500nA | 2.5 |
Nonsequitur Ion Gun 1450高能離子槍控制器規格：
元件 | 描述 |
|---|---|
輸入功率 | 115/230VAC 50/60Hz 自動選擇 |
光束能量 | 0-50,000V，1mA |
對焦、聚光鏡 | 0-40,000V，1mA |
燈絲功率 | 輻射調節，5V，最大 5A |
電離 | 電子加速電壓和發射軟件可選 |
離子萃取 | 0-2500V 軟件可選 |
撓度 | +X、-Y、+Y 和 -Y 的 +/-400VDV 電源。其余八極元件由電阻分壓器網絡供電。可選的 8 通道偏轉電源，具有像散校正和二次電子成像功能 |
聯 鎖 | 系統和輔助聯鎖裝置 |
用戶界面 | 基于 USB 的圖形用戶界面 |
機箱尺寸 | 483（寬） x 267（高） x 435（深） 毫米。19 英寸機架安裝機箱 6U 高 |
