美國(guó)Nonsequitur Model 1403 TOF-SIMS離子槍
Nonsequitur Model 1403 TOF-SIMS離子槍特點(diǎn)：
高亮度電子碰撞源，可最大程度地去除散裝材料
發(fā)射調(diào)節(jié)轟擊提供穩(wěn)定的離子電流，前面板可調(diào)節(jié)動(dòng)態(tài)范圍 x300
光斑尺寸從 20 mm 到 > 1 mm 不等，用于空間定義的濺射
連續(xù)可變光束能量高達(dá) 5keV
使用光束彎曲光學(xué)器件抑制中性物質(zhì)
TOF SIMS 的光束消隱功能
集成光束電流監(jiān)控功能
可更換光束調(diào)整孔徑，典型使用壽命為 > 500 小時(shí)
雙線材提供運(yùn)行備份，典型的線材使用壽命> 500 小時(shí)
內(nèi)部離子源壓力傳感器允許監(jiān)測(cè)離子源壓力
制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料
預(yù)物鏡偏轉(zhuǎn)以減少光斑尺寸
差壓泵送，以最大限度地減少主室氣體負(fù)荷
可在惰性氣體種類范圍內(nèi)運(yùn)行
Nonsequitur Model 1403 TOF-SIMS離子槍規(guī)格：
工作距離 | 35 毫米 |
中性物質(zhì)抑制 | 3° 靜電彎曲光學(xué)元件 |
光束能量 | ≤ 5keV 無級(jí)可調(diào) |
柵格大小 | 4 x 4 毫米（最小） |
安裝法蘭 | 70 毫米（2.75 英寸）外徑 CF |
差速泵送 | 70 毫米（2.75 英寸）外徑 CF |
供氣入口 | 34 毫米（1.33 英寸）外徑 CF |
源氣 | He， Ne， Ar， Kr， Xe |
烘烤溫度 | 最高 150 °C |
Nonsequitur Model 1403 TOF-SIMS離子槍控制器規(guī)格：
元件 | 描述 |
|---|---|
輸入功率 | 115/230VAC 50/60Hz 自動(dòng)選擇操作。熔斷電流為 3.3/1.8A。 |
光束能量 | 0 – 5000V，1mA 開關(guān)模式電源連續(xù)可變。輸出電容：0.0047μF。 |
雙聚光鏡對(duì)焦 | 150 – 5000V、1mA 開關(guān)模式通過前面板三個(gè)位置旋轉(zhuǎn)開關(guān)和微調(diào)電位器獨(dú)立和連續(xù)可變。輸出電壓隨能量而變化。輸出電容：0.0047μF |
目標(biāo)聚焦 | 0 – 5000V，1mA 開關(guān)模式電源連續(xù)可變。輸出電壓隨能量而變化。輸出電容：0.0047μF |
燈絲功率 | 帶前面板可選燈絲的輻射調(diào)節(jié)電源，最大可提供 5A 5V@電流。 |
電子轟炸 | 電子加速電壓內(nèi)部可調(diào)至 150V。電子發(fā)射電流的七種設(shè)置可從前面板旋轉(zhuǎn)開關(guān)中選擇。 |
離子萃取 | 內(nèi)部可調(diào)至 1500V。 |
彎曲偏轉(zhuǎn) | 可調(diào)輸出標(biāo)稱設(shè)置為 180V，通過前面板瞬時(shí)開關(guān)設(shè)置為正常狀態(tài)。開關(guān)暫時(shí)激活，以便使用法拉第集電極進(jìn)行光束電流測(cè)量。 |
撓度 | 可變雙極 350VDC 電源，用于 +X、-X、+Y 和 -Y 偏轉(zhuǎn)。其余的八極子元件由電阻分壓器網(wǎng)絡(luò)供電。 |
聯(lián) 鎖 | HV 電纜斷開會(huì)關(guān)閉 HV 電源。可調(diào)節(jié)的高壓聯(lián)鎖裝置可在系統(tǒng)超壓時(shí)關(guān)閉高壓電源。系統(tǒng)和輔助聯(lián)鎖裝置可在系統(tǒng)或輔助設(shè)備發(fā)生故障時(shí)完全關(guān)閉。 |
前面板監(jiān)控 | 數(shù)字面板儀表可對(duì)所有關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行精確監(jiān)控，包括;鏡頭電壓（41/2 位）、離子源壓力和束流（31/2 位）、燈絲電流和電壓（31/2 位）、發(fā)射電流（31/2 位）。 |
機(jī)箱尺寸 | 483（W）x132.5（H）x435.4（D） mm. 19 英寸機(jī)架式桌面機(jī)箱 3U 高。 |
