美國Nonsequitur Technologies 大束流離子源,氣相源,固相源

氣相源

Nonsequitur Technologies 的電子碰撞離子源可以從多種原料氣中產生離子,包括氫氣、氦氣、氖氣、氬氣、氙氣和氮氣。使用可選的 Thoria 涂層銥絲,還可以產生氧離子。這些源有多種幾何形狀可供選擇,具體取決于所需的離子電流和最終聚焦尺寸。

堿金屬源

離子源可通過從含有目標材料的熔塊表面電離來產生堿離子。可以產生 Cs、Li、Na、K 和其他離子種類。這些源可以集成到我們的任何聚焦柱中。

固相源

通過使用烘箱將材料蒸發到電子碰撞離子的源區域,離子源可以從室溫下為固體的材料中產生。離子由錫和其他材料制成。此外,還成功生產了 C60 和其他有機離子。源壽命通常為 10e4 nA 小時。

Nonsequitur?離子槍離子源?Ion Guns?Model 1407?設計特點

  • 緊湊型離子源,雙等離子發射器
  • 可調節的束斑, ≥ 15μm ,用于空間定義的濺射
  • 可調節發射,提供穩定的束流,前面板可調動態范圍 x300
  • 連續可變電子束能量,最高達 5keV
  • 用于電子束掃描和校正的雙電極
  • 用于減小束斑大小的預目標透鏡偏轉
  • 集成束流大小監測
  • 燈絲不直接到樣品,避免不必要的樣品污染
  • 可更換電子束修剪孔徑板,典型使用壽命> 500 hours
  • 提供雙燈絲備份
  • 內部源壓力傳感器,允許監控離子源壓力
  • 采用適合超高真空和耐蝕刻的材料
  • 差速泵,以盡量減少主腔室氣體負載
  • 在惰性氣體下運行

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