在平常用到的離子源中，有氣相源固相源堿金屬源，那這些源的區別是什么呢？
氣相源
我們的電子沖擊離子源可以從很多氣體中產生離子，包括氫氣， 氦氖，氬、氙和氮。可選配的Thoria涂層燈絲，也可以產生氧氣離子。根據所需的束流大小和光斑大小，可以選擇不同的幾何形狀離子源。
固相源
在常溫下是固體的材料，通過使用烤箱將材料蒸發到電子沖擊離子源的源區域，可能產生需要的離子。材料由Tin和其他材料制成。此外，C60和其他有機離子也已成功生成。離子源使用期通常為10e4 nA 小時。
堿金屬源
在常溫下是固體的材料，通過使用烤箱將材料蒸發到電子沖擊離子源的源區域，可能產生需要的離子。材料由Tin和其他材料只能。此外，C60和其他有機離子也已成功生成。離子源使用期通常為10e4 nA 小時。
