美國 Nonsequitur Technologies,離子槍,電能 < 10kV,1403 型TOF/SIMS 源,體蝕離子源
離子槍
NTI 離子槍用于材料研究、表面分析和太陽風模擬等應用。它們是按訂單制造的，我們很樂意根據您的需求定制系統。
1403 型：TOF/SIMS 源
離子槍 Model 1403 TOF-SIMS
體蝕離子源
高亮度電子碰撞源，可最大程度地去除散裝材料
發射調節轟擊提供穩定的離子電流，前面板可調節動態范圍 x300
光斑尺寸從 20 mm 到 > 1 mm 不等，用于空間定義的濺射
連續可變光束能量高達 5keV
使用光束彎曲光學器件抑制中性物質
TOF SIMS 的光束消隱功能
集成光束電流監控功能
可更換光束調整孔徑，典型使用壽命為 > 500 小時
雙線材提供運行備份，典型的線材使用壽命> 500 小時
內部離子源壓力傳感器允許監測離子源壓力
制造中使用的所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料
預物鏡偏轉以減少光斑尺寸
差壓泵送，以最大限度地減少主室氣體負荷
可在惰性氣體種類范圍內運行
元件 | 描述 |
|---|---|
工作距離 | 35 毫米 |
中性物質抑制 | 3° 靜電彎曲光學元件 |
光束能量 | ≤ 5keV 無級可調 |
柵格大小 | 4 x 4 毫米（最小） |
安裝法蘭 | 70 毫米（2.75 英寸）外徑 CF |
差速泵送 | 70 毫米（2.75 英寸）外徑 CF |
供氣入口 | 34 毫米（1.33 英寸）外徑 CF |
源氣 | He， Ne， Ar， Kr， Xe |
烘烤溫度 | 最高 150 °C |
元件 | 描述 |
|---|---|
輸入功率 | 115/230VAC 50/60Hz 自動選擇操作。熔斷電流為 3.3/1.8A。 |
光束能量 | 0 – 5000V，1mA 開關模式電源連續可變。輸出電容：0.0047μF。 |
雙聚光鏡對焦 | 150 – 5000V、1mA 開關模式通過前面板三個位置旋轉開關和微調電位器獨立和連續可變。輸出電壓隨能量而變化。輸出電容：0.0047μF |
目標聚焦 | 0 – 5000V，1mA 開關模式電源連續可變。輸出電壓隨能量而變化。輸出電容：0.0047μF |
燈絲功率 | 帶前面板可選燈絲的輻射調節電源，最大可提供 5A 5V@電流。 |
電子轟炸 | 電子加速電壓內部可調至 150V。電子發射電流的七種設置可從前面板旋轉開關中選擇。 |
離子萃取 | 內部可調至 1500V。 |
彎曲偏轉 | 可調輸出標稱設置為 180V，通過前面板瞬時開關設置為正常狀態。開關暫時激活，以便使用法拉第集電極進行光束電流測量。 |
撓度 | 可變雙極 350VDC 電源，用于 +X、-X、+Y 和 -Y 偏轉。其余的八極子元件由電阻分壓器網絡供電。 |
聯 鎖 | HV 電纜斷開會關閉 HV 電源。可調節的高壓聯鎖裝置可在系統超壓時關閉高壓電源。系統和輔助聯鎖裝置可在系統或輔助設備發生故障時完全關閉。 |
前面板監控 | 數字面板儀表可對所有關鍵參數進行精確監控，包括;鏡頭電壓（41/2 位）、離子源壓力和束流（31/2 位）、燈絲電流和電壓（31/2 位）、發射電流（31/2 位）。 |
機箱尺寸 | 483（W）x132.5（H）x435.4（D） mm. 19 英寸機架式桌面機箱 3U 高。 |
