Nonsequitur Technologies 1407 型離子槍

Nonsequitur Technologies 1407 型離子槍,高電流密度光斑

Nonsequitur Technologies 1407離子槍具有來(lái)自傳統(tǒng)電子碰撞電離源的雙等離子加速器級(jí)性能。應(yīng)用包括Auger or SIMS 深度剖分,其中需要一個(gè)小凹坑以避免損壞相鄰樣品區(qū)域,以及 TEM/SEM 樣品制備。可達(dá)到的非常高的刻蝕速率也允許該色譜柱用于厚膜和微觀結(jié)構(gòu)的切片。

Nonsequitur Technologies 1407 型離子槍其他應(yīng)用還包括:離子銑削/微加工和半導(dǎo)體散裝材料去除。離子產(chǎn)生是通過(guò)雙燈絲的電子碰撞電離實(shí)現(xiàn)的,無(wú)需打破系統(tǒng)真空即可延長(zhǎng)離子源壽命。該源旨在防止細(xì)絲材料在視線上沉積到樣品上。光學(xué)柱包括一個(gè)用于測(cè)量光束電流的一體式法拉第杯。光束掃描/偏轉(zhuǎn)是通過(guò)物鏡前的八極桿結(jié)構(gòu)完成的。這可以校正由于光束偏轉(zhuǎn)引起的散光。

Nonsequitur Technologies 1407 型離子槍設(shè)計(jì)特點(diǎn):

  • 獨(dú)特的離子源,發(fā)射穩(wěn)定

  • 雙鎢合金細(xì)絲

  • UHV 結(jié)構(gòu)

  • 電源和偏轉(zhuǎn)電源集成在一個(gè) 51/4 19“ 機(jī)架安裝中

  • 電氣連接和進(jìn)氣口均位于外殼后部,簡(jiǎn)化操作

Nonsequitur Technologies 1407 型離子槍設(shè)計(jì)規(guī)格:

元件
描述
光束能量
5eV 至 5000eV 連續(xù)可變
束流
最大 20μA @ 5keV 束能量
光斑尺寸 (FWHM)
15μm @500nAkeV、20μm @2μA、75μm @20uA、5kV、10mm W.D.
電氣
115/220V 50/60Hz 自動(dòng)選擇
法蘭
4.50 或 6.00 CFF 用于安裝,2.75CFF 泵送,1.33 (34mm) CFF 進(jìn)氣口。

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