Novascan,PSD-UV,臺式紫外臭氧清洗機,用于電子、半導體、光學和科學行業
PSD標準系列和PSDP Pro系列的數字控制儀器設計用于電子、半導體、光學和科學行業的應用。汞蒸汽燈生成紫外光和臭氧，從而實現硅、氮化硅、玻璃、金屬、陶瓷及其他材料的原子級清潔。PSD和PSDP也可以用于紫外固化、紫外圖案化、AFM探針的銳化、臭氧刻蝕等。
PSDP Pro系列儀器提供額外的數字控制，并可以升級為PID加熱臺系統。PSD標準儀器提供方便易用的數字預設控制，性價比高。
PSD標準和PSDP Pro系統的尺寸范圍從適合AFM探針和顯微鏡載玻片的4×4英寸UV系統，到能夠處理多個晶圓或LCD面板的大型12×16英寸UV系統。
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特點
- PSD和PSDP去除有機污染物
- UV燈產生185nm和254nm的紫外光
- 產生O3并提供分子激發
- 在大氣壓力下使用環境空氣或氧氣運行
- 多個氣體端口用于引入氣體
- 樣品臺具有可調節的樣品與燈之間的距離
- 配有安全開關以防止用戶暴露于紫外光下
- 操作簡單，體積小巧
- 一流的技術支持和客戶服務
適用基材
- 硅
- 砷化鎵
- 玻璃
- 石英
- 云母
- 藍寶石
- 金屬
- 陶瓷
- 聚合物
- 抗蝕劑
常見紫外/臭氧應用
- AFM探針清潔/探針銳化
- 半導體表面氧化和準備
- 清潔鏡頭和光學元件
- 改善表面潤濕性
- 清潔石英和陶瓷表面
- 薄膜沉積前的準備
- 紫外固化
- 表面圖案化
- 臭氧刻蝕
