Novascan,PSDP-UVT,臺式紫外線清洗機,配備加熱樣品臺
PSDP-UVT – 臺式紫外線清潔機配備加熱樣品臺
PSDP-UVT Pro 系列結合了 PSD 和 PSDP UV 系統的優點，并通過 PID 控制的加熱樣品臺增強了熱輔助紫外線處理功能。PSDP-UVT 熱輔助系統適用于廣泛的應用，例如熱增強的紫外線固化、紫外線圖案化、晶圓清潔、熱增強的光刻膠剝離、熱增強的 PDMS 粘合、制造和微流控技術、AFM 探針清潔、熱增強的臭氧蝕刻等。PSDP-UVT 系統常用于電子、半導體、光學、材料科學、生物學、化學、制藥、生物傳感器和納米技術等行業。
PSDP-UVT 系列添加的熱輔助紫外線功能提升了清潔、剝離、氧化、化學反應和催化過程的效果。
PSDP-UVT Pro 系統的尺寸范圍從適用于較小樣品（如 AFM 探針和顯微鏡載玻片）的 4×4 英寸 UV 系統，到可以處理多個晶圓或 LCD 面板的大型 12×16 英寸 UV 系統。更大的系統可通過定制訂單提供。
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特點：
- 熱輔助紫外線處理，用于增強清潔、化學改性、催化反應、熱退火、薄膜應用、光刻膠剝離等
- 數字控制的加熱樣品臺，溫度最高可達 200°C
- UV 燈發出 185nm 和 254nm 的紫外線
- 在大氣壓力下使用，適用于環境空氣或氧氣
- 多個氣體端口用于氣體引入
- 可調樣品與燈之間的距離
- 安全開關防止用戶暴露于紫外線下
- 操作簡單，占地面積小
- 一流的技術支持和客戶服務
適用基材：
- 硅
- 砷化鎵
- 玻璃
- 石英
- 云母
- 藍寶石
- 金屬
- 陶瓷
- 高分子
- 光刻膠
常見 UV/臭氧應用：
- AFM 探針清潔 / 尖端銳化
- 半導體表面氧化和預處理
- 清潔鏡頭和光學器件
- 改善表面潤濕性
- 清潔石英和陶瓷表面
- 薄膜沉積準備
- 紫外線固化
- 表面圖案化
- 臭氧蝕刻
- 熱輔助紫外線 O3 退火
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