Ossila 四點探頭可以快速輕松地測量薄膜的薄層電阻、電阻率和電導率

Ossila 四點探頭可以快速輕松地測量薄膜的薄層電阻、電阻率和電導率

Ossila 四點探頭可以快速輕松地測量薄膜的薄層電阻、電阻率和電導率。彈簧加載的圓形觸點可實現高質量的表面測量,而不會損壞精細樣品,使其成為表征納米級聚合物薄膜的理想選擇。得益于其緊湊和獨立的設計,兩種型號都可以無縫地適應任何實驗室環境,而 Plus 型號可以在沒有 PC 的設置中進行測量。

我們的四點探頭以 Ossila 源測量單元為核心,具有較寬的電流范圍,使其適用于各種測量。選擇四點探頭進行快速可靠的材料表征。

使用 Four-Point Probe Plus 進行快速測量


無需連接到 PC 即可表征樣品。四點探針 Plus 包括嵌入式軟件,可通過 LED 屏幕和鍵盤輕松控制。

該系統可以獨立測量薄層電阻,并在輸入尺寸和厚度后測量樣品的電導率和電阻率。它還提供外部引腳之間的電流和電壓以及內部引腳之間的電壓的實時顯示。對于更復雜的實驗,此型號仍然包含免費的 PC 軟件,因此您可以記錄數據。

規格


電壓范圍±100 μV 至 ±10 V
電流范圍±1 μA 至 ±200 mA(5 個量程)
薄層電阻范圍100 mΩ/□ 至 10 MΩ/□(歐姆/平方)

配備軟接觸探頭

Ossila 四點探針配有軟接觸探針,以減少損壞精細薄膜的可能性。我們的探頭具有圓形尖端(與其他探頭不同,其他探頭像鋒利的針)和更大的表面積,半徑為 0.24 mm。金板探針安裝在彈簧上,以便在與樣品接觸時縮回探針頭中。這種設計分散了向下的力,并確保對樣品施加 60 克的均勻力。

Ossila 的軟接觸探針示意圖
軟接觸探針

請注意:目前,我們的系統不適用于硅或其他自然形成絕緣氧化層的材料。為了測量此類材料,需要穿透氧化層,我們的探頭旨在避免這種情況。

薄層電阻

薄層電阻SMU 精度*精度在遠距離測量
100 mΩ/□±8%±3%200 毫安
1 Ω/□±2%±0.5%200 毫安
10 Ω/□±1%±0.5%200 毫安
100 Ω/□±1%±0.05%20 毫安
1 kΩ/□±1%±0.03%20 毫安
10 kΩ/□±1%±0.02%2000 微安
100 kΩ/□±2%±0.05%200 微安
1 MΩ/□±8%±0.5%20 微安
10 MΩ/□±30%±5%20 微安

* 探頭可能會引入高達 4% 的額外測量誤差。

Ossila 四點探頭,帶內置數據顯示線框圖
四點探針線框(左:原始型號 – T2001A4,右:Plus 型號 – T2001A5)

物理規格

探針間距1.27 毫米(0.05 英寸)
矩形采樣大小范圍最小長邊:5 mm (0.20”)

最大短邊:152.4 毫米(6 英寸)

圓形樣品尺寸范圍 (直徑)5 毫米至 152.4 毫米(0.20 英寸至 6.00 英寸)
最大樣品厚度8 毫米(0.31 英寸)
外形尺寸(寬 x 高 x 深)145 毫米 x 150 毫米 x 240 毫米(5.71 英寸 x 5.91 英寸 x 9.45 英寸)

電阻率和電導率范圍

由于系統測量樣品的薄層電阻,因此無法給出可測量電阻率或電導率的一般范圍。這是因為可測量的電阻率范圍取決于被測樣品的厚度。樣品的電阻率可以使用以下公式根據其薄層電阻和厚度計算:

薄層電阻電阻率方程

該系統能夠測量 100 mΩ/□ 到 10 MΩ/□,因此如果我們在上述公式中對 50 nm 厚的樣品使用這些值,那么系統可以測量的電阻率(電導率)范圍將為 5 nΩ.m 至 500 mΩ.m(2 S/m 至 200 MS/m)。如果樣品厚度為 400 μm,則系統的電阻率(電導率)范圍為 40 μΩ.m 至 4 kΩ.m(250 μS/m 至 25 kS/m)。下表列出了系統對不同數量級厚度的樣品的電阻率和電導率范圍:

涂層厚度電阻率范圍電導率范圍
10 納米1 nΩ.m – 100 mΩ.m10 速/米 – 1 GS/米
100 納米10 nΩ.m – 1 Ω.m1 速/米 – 100 毫秒/米
1 微米100 nΩ.m – 10 Ω.m100 毫秒/米 – 10 毫秒/米
10 微米1 μΩ.m – 100 Ω.m10 毫秒/米 – 1 毫秒/米
100 微米10 微歐姆 – 1 千歐姆1 毫秒/米 – 100 千秒/米
1 毫米100 微歐姆 – 10 千歐姆100 微秒/米 – 10 千秒/米

四點探頭特性


非破壞性軟接觸探針

非破壞性軟接觸探針

設計用于測量易碎樣品。半徑為 0.24 mm 的圓形軟接觸探針將施加到樣品上的向下力分散開來。探頭鍍金并安裝在彈簧上,以實現良好的電氣接觸。接觸時,它們縮回頭部以確保施加 60 克的均勻力。

寬電流范圍

寬電流范圍

我們的四點探頭能夠提供 1 μA 至 200 mA 的電流,并且可以測量低至 100 μV 至 10 V 的電壓。該系統可以測量 100 mΩ/□ 至 10 MΩ/□ 范圍內的薄層電阻,從而能夠表征各種材料。

高精度四點探頭

高精度

可以進行正極性和負極性測量,以計算正負電流之間的平均薄層電阻。這消除了可能發生的任何電壓偏移,從而提高了測量的準確性。

帶高度控制的線性平移平臺

線性平移平臺

采用千分尺高度控制,可實現簡單可控的軟樣品接觸。手動旋鈕使每次都可以輕松實現良好的電氣接觸。此外,防滑樣品臺可保持樣品穩定,并確保在表征過程中不會因移動而損壞易碎樣品。

用于準確測量的大樣品臺

表征大樣品

較大的載物臺面積意味著您可以表征直徑達 6 英寸(152.4 mm)的較大樣品。較大的樣品對校正因子的依賴性較低,并且在表征材料時提供更準確的測量結果。

易于使用的界面

快速測量(僅限 Plus 型號)

內置數據顯示屏包括明亮的 LCD 顯示屏和觸覺鍵盤,無需連接 PC 即可表征樣品。只需插入四點探針,抬起樣品使其與探針接觸,然后按下 OK 按鈕。


*照片包括 Original 和 Plus 型號

軟件


您的四點探頭可以使用 PC 進行控制,運行我們免費的、用戶友好的 Ossila Sheet Resistance Lite 軟件。使用 Plus 型號,您還可以在內置數據顯示器上使用嵌入式軟件。這兩款軟件都可以計算出樣品幾何形狀以及樣品電阻率和電導率的適當幾何校正因子,以便對材料進行廣泛、準確的電氣表征(如果您想記錄數據,則需要使用 Ossila Sheet Resistance Lite 軟件)。

Sheet Resistance Lite 軟件
Sheet Resistance Lite 測量軟件

Sheet Resistance Lite 軟件隨附在隨附的 USB 記憶棒上,并附有用戶手冊和 QC 數據的副本。此外,最新版本始終可以從我們的網站免費下載。

Sheet Resistance Lite 軟件將數據保存為逗號分隔值 (.csv) 文件,便于將數據導入您首選的分析軟件。高級設置使您可以更好地控制測量,允許您設置電壓和電流限制、執行負極性測量或使用具有不同間距的探頭。

Sheet Resistance Lite 軟件要求

操作系統Windows 10 或 11(64 位)
中央處理器雙核 2 GHz
公羊2 吉字節
可用硬盤空間270兆字節
顯示器分辨率1440 x 900 像素
連接USB 2.0 或以太網(需要 DHCP)

http://ydzhly.com/ossilaltd/%e8%8b%b1%e5%9b%bdossila-br-bt-cho-1071224-34-4-%e7%a2%b3%e9%85%b8%e9%86%9b%e5%8d%95%e4%bd%93%e5%8c%96%e5%ad%a6%e7%bb%93%e6%9e%84%e5%8d%95%e5%85%83-%e6%9d%82%e7%8e%af%e7%bb%93%e6%9e%84%e5%8d%95/

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