封裝式壓電陶瓷促動器應用領域

封裝式壓電陶瓷促動器內部集成高可靠性壓電陶瓷，可實現納米級分辨率，位移行程可達260微米，微秒級響應時間，外部由柱形不銹鋼外殼保護。

較高的內部機械預載力可適用于高負載、高動態應用。出力達50000N，使其非常適于腔調諧、主動振動、減震抑震或自適應力學。同時，小體積、高諧振頻率等特點又使其非常適于掃描顯微、光束偏轉、精密加工或顯微光刻等應用。

封裝式壓電陶瓷：

150V Piezoelectric Stack Actuators

Actuators Length Range Force
SA030305 5 mm 5.6 um 330 N
SA030306 6 mm 7 um 330 N
SA030310 10 mm 14 um 330 N
SA030318 18 mm 25 um 330 N
SA050510 10 mm 14 um 900 N
SA050520 20 mm 31 um 900 N
SA050536 36 mm 56 um 900 N
SA070718 18 mm 28 um 1800 N
SA070742 42 mm 70 um 1800 N

應用領域

超導腔調諧

通過諧振器在軸向拉伸超導腔，改變加速間隙的大小，控制超導腔的頻率。通過機械調諧進行頻率的粗調后，當超導腔的頻率接近所需要的頻率時，通過壓電陶瓷促動器對頻率進行微調。利用的是壓電陶瓷促動器的大出力、微位移的特性。

微細電火花加工

采用微細電火花加工微小孔過程中會產生很多碎屑，這會嚴重影響電火花加工的精準度及加工速度。設備中采用壓電促動器，利用其微納米級位移，高頻振動，大出力等特性將加工產生的碎屑進行有效的清除，起到優異的導屑作用。

150V Piezoelectric Ring Stacks

Actuator Length OD ID Range Force
SR080410 10 mm 8 mm 4.5 mm 14 um 1300 N
SR080418 18 mm 8 mm 4.5 mm 28 um 1300 N
SR120610 10 mm 12 mm 6 mm 14 um 3000 N
SR120620 20 mm 12 mm 6 mm 30 um 3000 N

減震抑震

震動是很多機械系統中需要避免或消除的，如航空航天、汽車行業等。在震動監測系統中監測到震動時，通過給壓電促動器施加電信號，使壓電促動器隨之產生與震動方向相反的位移，從而抵消震動。

TubeDiagram

Actuator Length Diameter Thickness Max. Voltage Scan Range
TB1005 10.0 mm 5.0 mm 0.66 mm ±?264 V 3.8 um
TB2005 20.0 mm 5.0 mm 0.66 mm ±?264 V 15 um
TB3507 35.0 mm 7.0 mm 0.66 mm ±?264 V 39 um
TB5009 50.8 mm 9.5 mm 0.66 mm ±?264 V 52 um
TB5509 55.0 mm 9.0 mm 0.60 mm ±?250 V 66 um
TB6006 60.0 mm 6.0 mm 0.65 mm ±?260 V 114 um

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