壓電陶瓷管掃描器是可以三維運(yùn)動(dòng)的壓電陶瓷管，用于三維微掃描與定位，如AFM原子力顯微鏡等。
壓電陶瓷管掃描器為壁厚比較薄，徑向計(jì)劃，外壁四個(gè)電極，內(nèi)壁一體或者分區(qū)電極的壓電陶瓷管，當(dāng)外部施加一個(gè)電壓到某一個(gè)區(qū)域時(shí)，陶瓷管垂直方向收縮，使陶瓷管頂部產(chǎn)生比較大的傾斜，同時(shí)施加電壓會(huì)使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮.
| 型號(hào) | 長(zhǎng)(mm) | 外徑(mm) | 厚度(mm) | 電壓(V) | 掃描范圍(μm) | Z軸位移(μm) | 諧振頻率[kHz] |
| 1005 | 10 | 5 | 0.66 | ±264 | 3.8 | 2.1 | 10 |
| 2005 | 20 | 5 | 0.66 | ±264 | 15 | 4.2 | 6.29 |
| 3507 | 35 | 7 | 0.66 | ±264 | 39 | 7.4 | 2.99 |
| 5009 | 50 | 9 | 0.66 | ±264 | 52 | 10 | 1.99 |
| 5509 | 55 | 9 | 0.6 | ±250 | 66 | 12 | 1.6 |
| 6006 | 60 | 6 | 0.65 | ±260 | 114 | 12 | 0.865 |
驅(qū)動(dòng)方式與位移計(jì)算 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?尺寸范圍
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材料參數(shù)
| 性能 | 符號(hào) | 參數(shù) | 單位 |
| 壓電常數(shù) | d33 | 600 | 10-12m/V |
| d31 | -270 | 10-12m/V | |
| g33 | 19.4 | 10-3Vm/N | |
| g31 | -9.2 | 10-3Vm/N | |
| 機(jī)電耦合系數(shù) | Kp | 0.65 | NA |
| Kt | 0.37 | NA | |
| K31 | 0.38 | NA | |
| 彈性常數(shù) | Y33 | 5.3 | 1010N/m2 |
| Y11 | 7.2 | 1010N/m2 | |
| 居里溫度 | Tc | 220 | °C |
| 密度 | ρ | 7.8 | g/cm3 |
