壓電陶瓷管掃描器是可以三維運動的壓電陶瓷管,用于三維微掃描與定位,如AFM原子力顯微鏡等。
壓電陶瓷管掃描器為壁厚比較薄,徑向計劃,外壁四個電極,內壁一體或者分區電極的壓電陶瓷管,當外部施加一個電壓到某一個區域時,陶瓷管垂直方向收縮,使陶瓷管頂部產生比較大的傾斜,同時施加電壓會使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮.
型號 | 長(mm) | 外徑(mm) | 厚度(mm) | 電壓(V) | 掃描范圍(μm) | Z軸位移(μm) | 諧振頻率[kHz] |
1005 | 10 | 5 | 0.66 | ±264 | 3.8 | 2.1 | 10 |
2005 | 20 | 5 | 0.66 | ±264 | 15 | 4.2 | 6.29 |
3507 | 35 | 7 | 0.66 | ±264 | 39 | 7.4 | 2.99 |
5009 | 50 | 9 | 0.66 | ±264 | 52 | 10 | 1.99 |
5509 | 55 | 9 | 0.6 | ±250 | 66 | 12 | 1.6 |
6006 | 60 | 6 | 0.65 | ±260 | 114 | 12 | 0.865 |
驅動方式與位移計算 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?尺寸范圍
材料參數
性能 | 符號 | 參數 | 單位 |
壓電常數 | d33 | 600 | 10-12m/V |
d31 | -270 | 10-12m/V | |
g33 | 19.4 | 10-3Vm/N | |
g31 | -9.2 | 10-3Vm/N | |
機電耦合系數 | Kp | 0.65 | NA |
Kt | 0.37 | NA | |
K31 | 0.38 | NA | |
彈性常數 | Y33 | 5.3 | 1010N/m2 |
Y11 | 7.2 | 1010N/m2 | |
居里溫度 | Tc | 220 | °C |
密度 | ρ | 7.8 | g/cm3 |