壓電管掃描器是一種具有四個外電極和一個連續內電極的徑向極化壓電材料的薄圓柱體。當電壓施加到其中一個外電極上時,執行器壁會膨脹,從而導致垂直收縮和管端的大橫向偏轉。周向電極可用于垂直或徑向延伸和收縮。
壓電管掃描儀廣泛應用于掃描探針顯微鏡和光纖拉伸、光束掃描等應用領域。可根據要求提供定制尺寸和/或規格。
Specifications
Order Code |
Length | Diameter | Thickness | Electrode Clearance |
Max. Voltage |
Scan Range |
Extension Range |
Resonance Frequency1 |
Quadrant Capacitance |
||
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TB1005 | 10.00 mm | 5.0 mm | 0.66 mm | 1 mm | ?264 V | 3.8 um | 2.1 um | 25 kHz | 3 nF | ||
TB2005 | 20.00 mm | 5.0 mm | 0.66 mm | 1 mm | ?264 V | 15 um | 4.2 um | 6300 Hz | 6 nF | ||
TB3507 | 35.00 mm | 7.0 mm | 0.66 mm | 1 mm | ?264 V | 39 um | 7.4 um | 3000 Hz | 10 nF | ||
TB5009 | 50.8 mm | 9.5 mm | 0.66 mm | 1 mm | ?264 V | 52 um | 10 um | 1900 Hz | 17 nF | ||
TB5509 | 55.0 mm | 9.0 mm | 0.6 mm | 1 mm | ?250 V | 66 um | 12 um | 1600 Hz | 17 nF | ||
TB6006 | 60.0 mm | 6.0 mm | 0.65 mm | 1 mm | ?260 V | 114 um | 12 um | 850 Hz | 12 nF |
注意:
具有固定底座和自由端的第一彎曲模態共振頻率。
TD250是一款超低噪音、六通道250V放大器,專為驅動壓電管掃描儀而優化。盡管許多配置是可能的,但是下面所示的驅動內部電極配置是簡單的,并且提供最大X、Y和Z行程范圍。
在被驅動的內部電極結構中,X和Y電極以標準方式以相等和相反的電壓驅動。通過在內部電極上施加滿標度負電壓,可獲得相當于垂直掃描范圍一半的收縮。這種方法利用了壓電材料較高的正電場強度,通常是負電場強度的五倍。必須注意不要在內部電極上施加正電壓,因為這會導致去極化。
電極
這些管子配有鎳薄膜電極。內電極連續,外電極四分之一。用稀硝酸蝕刻可去除電極面積??筛鶕蠖ㄖ齐姌O配置。
電極間隙規格是從兩端拆下的外部電極的長度,它為安裝表面提供電氣間隙。內電極是連續的。
在需要高磁場的應用中,鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經濟的選擇,但黃金具有優異的耐腐蝕性和導電性。
壓電性能
壓電材料類似于PZT-5H和海軍VI型。
Property | Symbol | Value | Unit |
---|---|---|---|
壓電常數 | d33 | 600 | 10-12?m/V |
d31 | -270 | 10-12?m/V | |
g33 | 19.4 | 10-3?Vm/N | |
g31 | -9.2 | 10-3?Vm/N | |
機電耦合系數 | Kp | 0.65 | NA |
Kt | 0.37 | NA | |
K31 | 0.38 | NA | |
頻率常數 | Np | 1980 | Hz-m |
Nt | 1950 | Hz-m | |
N31 | 1450 | Hz-m | |
彈性常數 | Y33 | 5.3 | 1010?N/m2 |
Y11 | 7.2 | 1010?N/m2 | |
Q Factor | Qm | 80 | NA |
介電常數 | e33?? e0 | 3500 | @1 kHz |
耗散因子 | tan δ | 2.5 | % @ 1 kHz |
電流溫度 | Tc | 220 | C |
密度 | ρ | 7.8 | g/cm3 |