Piezodrive SR系列壓電致動(dòng)器，壓電陶瓷致動(dòng)器，壓電圓環(huán)堆棧致動(dòng)器，SR系列環(huán)形堆疊致動(dòng)器，150V壓電環(huán)疊層致動(dòng)器，具有真空兼容性