PiezoDrive驅(qū)動(dòng)器150V 閉環(huán)堆棧執(zhí)行器采用陶瓷封裝,用于防潮,并涂有環(huán)氧樹脂涂層,以絕緣高壓線路并提供機(jī)械保護(hù)

PiezoDrive驅(qū)動(dòng)器150V 閉環(huán)堆棧執(zhí)行器采用陶瓷封裝,用于防潮,并涂有環(huán)氧樹脂涂層,以絕緣高壓線路并提供機(jī)械保護(hù)

150V 閉環(huán)堆棧執(zhí)行器

SCL 系列堆棧執(zhí)行器包括一個(gè)用于閉環(huán)控制應(yīng)變監(jiān)測全橋式應(yīng)變傳感器。堆棧執(zhí)行器采用陶瓷封裝,用于防潮,并涂有環(huán)氧樹脂涂層,以絕緣高壓線路并提供機(jī)械保護(hù)。SCL 促動(dòng)器與?PiezoDrive PDu150CL?驅(qū)動(dòng)器完美匹配,當(dāng)一起訂購時(shí),該驅(qū)動(dòng)器可以校準(zhǔn)到促動(dòng)器。應(yīng)用包括:納米定位顯微鏡精密加工振動(dòng)控制液壓泵閥門光學(xué)

規(guī)格

一般規(guī)格
驅(qū)動(dòng)電壓-30V 至 +150V
行程容差+/-15%
長度公差+/- 0.1 毫米
磁滯現(xiàn)象<15%
工作溫度0 至 +70 攝氏度
工作濕度<40% 推薦
儲(chǔ)存溫度-25 至 +80 攝氏度
儲(chǔ)存濕度<40% 推薦
應(yīng)變計(jì)全橋,350 歐姆
儀表系數(shù)2
電橋電壓<5 Vrms

零件編號(hào)

訂購
代碼
范圍
0V 至 150V
范圍
-30 至 150V
長度橫截面
上限
+/-20%
質(zhì)量阻擋
剛度Res.
Freq.
?
SCL0505099.5 微米12 微米9 毫米5×5 毫米0.75 微米2.0 克1000 牛105 牛 / 微米140 赫茲
SCL05051820 微米26 微米18* 毫米5×5 毫米1.6 uF3.8 克1000 牛50 牛 / 微米70 赫茲
SCL05053641 微米53 微米36 毫米5×5 毫米3.5 uF7.4 克1000 牛24 牛 / 微米34 kHz
SCL07071819 微米24 微米18* 毫米7×7 毫米3.0 uF7.3 克1900 牛100 牛 / 微米70 赫茲
SCL07073638 微米50 微米36 毫米7×7 毫米6.0 微F14 克190050 牛 / 微米35 kHz

注意:
* 18mm 致動(dòng)器上的應(yīng)變片電觸點(diǎn)靠近堆棧的末端,可能會(huì)接觸安裝表面。第 4 節(jié)中顯示了一個(gè) 18mm 長的致動(dòng)器示例。為避免應(yīng)變片短路,建議使用球頭端。或者,可以通過在訂貨代碼后加上 -Spacer 來在兩端添加 0.4mm 陶瓷墊片,例如 SCL050518-Spacer

安裝

堆疊式促動(dòng)器不應(yīng)承受較大的拉伸載荷、分布不均勻的載荷離軸載荷、彎矩或扭矩。為了減少安裝誤差,可以使用陶瓷或不銹鋼球端將堆棧執(zhí)行器連接到負(fù)載。還推薦使用彎曲機(jī)制。

適合低溫作的膠粘劑包括氰基丙烯酸酯,例如強(qiáng)力膠凝膠,以及通用的雙組分環(huán)氧樹脂,例如 Loctite 3430。在需要散熱或在高溫下運(yùn)行的應(yīng)用中,建議使用 Loctite 9466。

最大推薦拉伸載荷為鎖緊力的 10%。在需要雙向力或高速運(yùn)動(dòng)的應(yīng)用中,建議使用大于最大拉伸載荷的預(yù)緊力。這保證了促動(dòng)器始終處于壓縮狀態(tài)。建議的最大預(yù)緊力為鎖緊力的 50%。

150V 閉環(huán)堆棧執(zhí)行器 -

應(yīng)變計(jì)

應(yīng)變片是一個(gè) 350 歐姆全橋布置,由兩個(gè) 90 度應(yīng)變花構(gòu)成。與壓電膨脹方向?qū)R的應(yīng)變元件標(biāo)記為 +ε 度,90 度元件表示為 –νε。之所以采用這種約定,是因?yàn)檎龖?yīng)變 +ε 由于泊松比 (ν).

帶應(yīng)變片的壓電堆棧促動(dòng)器
一種用于壓電堆疊式促動(dòng)器的全橋式應(yīng)變片電路

感應(yīng)差分電壓VS對于雙變量元件,全橋?yàn)?[1,?2]VS=12VeGFε(1+ν)哪里Ve是激勵(lì)電壓(例如 5V),GF 是應(yīng)變系數(shù)(例如 2),ε是應(yīng)變,而ν是泊松比(PZT5H 為 0.34)。對于 0.1% 的滿量程應(yīng)變,預(yù)期的電橋電壓為 6.7 mV。

PDu150CL?放大器模塊在 0.1 Hz 至 100 Hz 范圍內(nèi)具有 3 uVrms 的輸入?yún)⒖荚肼暋R虼耍瑧?yīng)變測量噪聲的預(yù)測標(biāo)準(zhǔn)差為σ=3μV6.7毫伏=0.045滿量程的 %即 6σ– 分辨率?[1]?為 100 Hz 帶寬時(shí)滿量程的 0.26%。例如,SCL050509 和?PDu150CL?放大器模塊的閉環(huán)分辨率約為 25nm(峰峰值),帶寬為 100 Hz。

推薦驅(qū)動(dòng)程序

PDu150CL?驅(qū)動(dòng)程序模塊(版本 5 或更高版本)提供開環(huán)或閉環(huán)作所需的所有功能。連接圖如下圖所示。

推薦用于閉環(huán)堆棧執(zhí)行器的驅(qū)動(dòng)電路

連接后,對模塊進(jìn)行校準(zhǔn),以便執(zhí)行器的全范圍擴(kuò)展產(chǎn)生 +10V 傳感器輸出。然后,該模塊可以切換到閉環(huán),其中 0V 至 10V 輸入產(chǎn)生零,到執(zhí)行器的全范圍擴(kuò)展。

當(dāng)執(zhí)行器和?PDu150CL?驅(qū)動(dòng)器一起訂購時(shí),可以要求進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。默認(rèn)情況下,應(yīng)變片經(jīng)過校準(zhǔn),因此 0V 至 +150V 執(zhí)行器電壓產(chǎn)生 0V 至 +10V 傳感器信號(hào)。在閉環(huán)中,全行程由 +10V 輸入信號(hào)產(chǎn)生,但是,閉環(huán)中的最大推薦輸入為 9V。這為控制器留下了一些“空間”,以補(bǔ)償由于溫度降低或執(zhí)行器老化等原因而減少的致動(dòng)器行程。執(zhí)行器在未安裝狀態(tài)下進(jìn)行校準(zhǔn),因此安裝后應(yīng)檢查校準(zhǔn),并在必要時(shí)進(jìn)行調(diào)整。

球頭

SCL 堆棧執(zhí)行器可配備球端,以改善負(fù)載分布并減少使用過程中的彎曲。可以通過在訂貨代碼中添加以下后綴之一來指定一個(gè)或兩個(gè)球頭:-TBE(頂部球端)、-BBE(底部球端)或 -2BE(兩個(gè)球端)。例如 SCL050509-2BE。

執(zhí)行器橫截面半球直徑額外長度
5 x 5 毫米5 毫米每個(gè)球端 2.5 mm
7 x 7 毫米7 毫米每個(gè)球端 3.5 mm

安裝杯可用于 5 mm 和 7 mm 半球。

訂購代碼西裝 Hemisphere外徑額外長度
SCUP5的5 毫米5 毫米每杯 0.56 毫米
SCUP7的7 毫米7 毫米每杯 0.78 毫米
150V 閉環(huán)堆棧執(zhí)行器 -

中風(fēng)

當(dāng)堆疊平動(dòng)器驅(qū)動(dòng)剛性彈簧時(shí),范圍會(huì)減少系數(shù)kpkp+kL哪里kp是平動(dòng)電機(jī)剛度,而kL是載荷剛度。

也可以通過約束端板來減少行程,例如通過將促動(dòng)器粘合到堅(jiān)硬的底座上。這種影響在長度小于寬度兩倍的致動(dòng)器中最為明顯。

電容

促動(dòng)器電容是在室溫下測得的小信號(hào)電容。由于磁滯,有效電容隨著施加的電壓而增加。當(dāng)滿量程工作時(shí),有效電容大約是小信號(hào)電容的 1.5 倍。電容也隨溫度的增加而增加。溫度升高約 50 °C 將使有效電容增加一倍。

燙的

運(yùn)行過程中的溫升是由于金屬層中的電阻加熱、機(jī)械摩擦和磁滯造成的能量損失。產(chǎn)生的熱量通過表面對流和通過端板的傳導(dǎo)消散。

由于熱傳導(dǎo),當(dāng)工作頻率持續(xù)超過約 500 Hz 時(shí),建議使用平端板。具有較大橫截面積的執(zhí)行器可提供更好的熱傳導(dǎo);但是,這些也需要更高的驅(qū)動(dòng)電流。

SCL 系列執(zhí)行器可在高達(dá) 70 攝氏度的溫度下運(yùn)行。可根據(jù)要求提供具有更高溫度范圍的版本。

運(yùn)行期間的實(shí)際溫升取決于許多因素,包括連接結(jié)構(gòu)的熱阻、通過執(zhí)行器的氣流以及驅(qū)動(dòng)信號(hào)的大小和波形。作為溫度上升的指標(biāo),下表列出了當(dāng)由 150 Vp-p 正弦
波驅(qū)動(dòng)時(shí),SCL 執(zhí)行器的溫度升高 25 度的大致頻率。

執(zhí)行器橫截面10 攝氏度上升25 攝氏度上升
5 x 5 毫米600 赫茲1.5 赫茲
7 x 7 毫米500 赫茲3 kHz

以上數(shù)字假設(shè)工作頻率低于致動(dòng)器和連接結(jié)構(gòu)的第一諧振頻率。在諧振頻率附近可以產(chǎn)生更多的熱量。

尺寸

總堆疊尺寸基于規(guī)格中列出的陶瓷的寬度和長度。包括線材和應(yīng)變片在內(nèi)的總寬度尺寸比陶瓷寬 2.3 毫米。

Dimensions of piezoelectric actuator with strain gauge

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