厚度監視器TM13和TM14
TM13和TM14器件包括:石英振蕩器、頻率測量系統和通信接口。它連接到石英諧振器的輸入元件。測量結果通過RS232傳輸到主設備:PC或TMC13控制器。通過TMC13控制器或PC進行遠程控制。專用于精確速率測量的可用軟件。記錄石英諧振器的頻率隨時間的變化(以圖表的形式)。允許用戶從選定的時間間隔計算蒸發率。適用于MBE等應用。
特征
TM13
- 頻率分辨率:0.1赫茲
- 每秒測量次數:4(固定)
- 石英振蕩器的最大頻率:6 MHz
- 穩定性:0.5 ppm
TM14
- 頻率分辨率:0.01赫茲
- 每秒測量次數:0.5、1、2、4、10(可選)
- 石英振蕩器的最大頻率:6 MHz
- 穩定性:0.5 ppm
| Power supply | 5V DC | |
| Current consumption | max 500 mA | |
| TM13 | TM14 | |
| Thickness resolution | 0.1 ? | 0.01 ? |
| Rate resolution | 0.1 ?/s | 0.01 ?/s |
| Frequency resolution | 0.1 Hz | 0.01 Hz |
| Frequency stability | 0.5 ppm | 0.5 ppm |
| Number of measurements per second | 4 | 0.5; 1; 2; 4; 10 (selectable) |
| Communication Interface | RS232 | |
| Dimensions [mm] | 80.0 x 50.0 x 27.0 mm (W x H x D) | |
| Weight (approx.) | 0.1 kg | |
