高均勻性樣品表面離子刻蝕UHV系統。推薦用于表征技術(如TEM)的樣品制備。

特征

• 全電動雙軸機械手帶快速操作自動快門和集成法拉第杯
• 帶有的操縱器高效水冷系統，以保證過程中所需的溫度穩定
• 各種類型的樣品架，最大尺寸為6英寸
• 準備好無網格/網格射頻/ DC離子源
• 專注的軟件和人機界面設備用于控制和監控過程和所有組件
• 內部的保護襯墊/護罩
• 用于例如電子束蒸發器的底部法蘭
• 通過傳輸系統，設計易于擴展
• 前開門容易接近到處理室