Prevac離子源IS 40C1，緊湊、易于使用的提取器類型，用于樣品表面清潔。離子源產(chǎn)生的離子電流大于70 μA/cm2(氬)具有高斯光束輪廓。源插入長度可根據(jù)個人要求進(jìn)行調(diào)整(在62.5毫米至384.5毫米之間，其他要求)。
特征
- 惰性氣體(Ar)和活性氣體(O2，H2壽命縮短的碳?xì)浠衔?
- 高離子束電流
- 長壽命
- 高穩(wěn)定性
| 安裝用法蘭 | DN 40CF(不可旋轉(zhuǎn)) |
| 能量范圍 | 0.12千電子伏–5千電子伏 |
| 電流密度 | > 120 μA/cm2(對于30毫米的距離) |
| 盾 | 銅，不銹鋼(用于活性氣體) |
| 陰極型 | 氧化釔涂層銥絲 |
| 插入長度 | 量滴62.5毫米，其他要求 OD:麥克斯。37毫米 |
| FWHM | 取決于離子能量和工作距離 (例如，距離為30毫米時為3毫米) |
| 典型工作距離 | 30-250毫米 |
| 烘烤溫度 | 高達(dá)250攝氏度 |
| 工作壓力 | 10-5?– 10-6毫巴(millibar壓力單位) |
