Prevac離子源IS 40E1–雙透鏡、聚焦、抽取式離子槍。適用于深度剖析(Ar ),支持使用O2，H2、碳氫化合物和所有惰性氣體。源能夠在推薦的工作距離上光柵化表面的10mm×10mm區域。它特別適用于XPS、ISS和SIMS中的深度剖析。該源也可用于樣品表面清潔。
特征
- 特殊構造的鼻錐
- 惰性氣體(Ar)和活性氣體(O2，H2壽命縮短的碳氫化合物)
- 連續可變光斑尺寸
- 極其均勻的彈坑/光束輪廓
- 內側可更換燈絲
- UHV氣體入口
- UHV條件保持在室內
- 集成掃描和偏轉單元
- 入射電子束角度的校正(由IS40-PS電源提供)
| 安裝用法蘭 | DN 40CF(可旋轉) |
| 氣體 | 氬氣和活性氣體(氧氣2，H2壽命縮短的碳氫化合物) |
| 能量范圍 | 0.15千電子伏–5千電子伏 |
| 掃描區域 | 10毫米x 10毫米(適用于23毫米的工作距離) |
| 電流密度 | 最高4毫安/厘米2(距離為23毫米) |
| 射束電流 | > 1 μA(對于23 mm的距離) |
| 陰極型 | 氧化釔涂層銥絲 |
| 小錐角 | 50 |
| 插入長度 | 163毫米(標準)，外徑:34毫米 |
| FWHM | 取決于工作距離 (例如，距離為23毫米時小于150微米) |
| 典型工作距離 | 23-120毫米 |
| 烘烤溫度 | 250攝氏度 |
| 工作壓力 | 10-8毫巴(最大電子束電流) |
