獨立的UHV裝置，用于測量超薄膜的吸附/解吸，能夠在很寬的溫度范圍內進行高精度的溫度控制。

特征

基礎壓力1×10^-9毫巴(millibar壓力單位)
帶有快速PTS樣品架裝載系統的TPD/TDS室
專門設計的錐形取樣端件
寬溫度范圍(-170°C至1200°C)內的高精度溫度控制
TDS的計算機控制數據采集和處理軟件
用于兩個PTS樣品支架的加載鎖定室
從裝載鎖到TPD室的可靠和快速的線性傳送系統